檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "陳炤彰".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="拋光墊非均勻性"
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本研究透過自行開發與改良的彩色共軛焦量測系統進行修整製程中,拋光墊表面形貌的量測;此外透過拋光墊修整軌跡模擬軟體,評估拋光墊之修整均勻性。實驗方法為固定修整器轉速15, 40, 65rpm對於拋光盤…